회사소개LRD는 반도체 세정,건조 분야 R&D 전문 기업입니다
LRD가 만들어가는 새로운 세상
A B O U T
저희 회사를 소개합니다
우 리 가 걸 어 온 길
· 2023
본사 이전 (수원시 권선구)
6", 8"cassetless Dryer 10기 수주
중소벤처기업부 창업성장기술개발사업(디딤돌) 국책과제 선정
ISO 9001/14001 인증 취득
메인비즈(Main-Biz) 인증 취득
· 2022
경기도 화성 공장 등록 (Clean Room)
Marangoni wafer dryer 수주 / 8"cassetless Dryer 10기 수주
· 2021
벤처기업등록
Single wet backside 12ch consulting & wafer direct bonder modify 수주
· 2020
법인 설립 / 기업부설 연구소 설립
Single wet spin / CDS_(DHF/IPA) 수주
주요 인증 내역
2030년 반도체 세정, 건조 장비 분야 글로벌 1위를 목표로 기술집약, 가치 창출 기업으로 거듭나고 있습니다
LRD는 국가 성장 기반 산업인 반도체 세정, 건조 분야를 끊임없이 연구, 개발하고 있습니다.
나아가 세정 장비와 건조 장비의 기능을 더욱 효율적이고 안정하게 운영하도록 지속적으로
설계하고 있습니다. 당사는 국내 시장의 장비 납품 점유율을 높이는 것을 기반으로 글로벌 시장 진출을 위해 노력하고 있습니다.
당사의 핵심 기술을 반도체 웨이퍼 세정 및 건조 그리고 공정 기술입니다.
또한, 미래를 대비하는 신규 연구 과제로 차세대 반도체 세정 분야 인 고온 황산 프로세스와 초임계 인터페이스, 베벨에치 분야에도 지속적인 연구 개발 및 투자를 아끼지 않고 있습니다.
미래 산업을 대비하는 LRD는 기술력을 집약시켜 최대의 가치를 이끌어내는 기업으로
성장해 나아가고 있습니다.
'R&D 특허를 기반으로 한 매출 성장'
반도체 장비 업종의 특성상 원천기술을 보유하고 있어야 합니다. 지속적인 특허 등록 및 출원을 통해서 자체 기술력을 더욱 확보할 것이며, 이를 통해 매출 증대에 더욱 힘을 쓰겠습니다.
| 순번번 | 등록/출원 | 등록 (출원) 번호 | 등록 (출원) 번호 | 연계 매출 |
| 1 | 등록 | 제10-1463922호 | 기판 건조장치(Wafer Dryer) | 2022~2024년 매출 ITEM |
| 2 | 등록 | 제10-1478152호 | 기판 건조장치(Wafer Dryer) | |
| 3 | 등록 | 제10-1546515호 | 기판 건조장치(Wafer Dryer | |
| 4 | 등록 | 제10-2333001호 | 식각 장치 (Wet Bevel Etch) | 2025년 매출 ITEM |
| 5 | 등록 | 제10-0037443호 | 기판 처리 장치(Super Critical) | |
| 6 | 출원 | 10-20210082486 | 식각 장치 (고온황산) | |
| 7 | 출원 | 10-20220037444 | 기판세정장치 | |
| 8 | 출원 | 10-20230034488 | 고온 황산 Chuck Module | 2027년 매출 ITEM |
핵심 경쟁력
가격경쟁력 / 성능 / 빠른 CS / 높은 R&D 기술
' Single Wet (front,backside)분야 핵심기술보유'
uniformity 0.7% (Thermal oxide DHF Process)
