LRD PRODUCTS



SINGLE WET STATION / CDS / WET SCRUBBER / DRYER
Single Wet Scrubber
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Single Wet Scrubber

DIW를 사용하여 세정하는 장비 / Single Type / 2 ~ 8 Chambers / 6“, 8”, 12” Wafer 사용 가능 / Cleaning by Brushing
CDS(Chemical Delivery System)
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CDS(Chemical Delivery System)

Chemical을 Mixing하여 공급하는 Chemical 공급 장비 / Chemical : BOE, DHF, IPA, SC-1, SPM etc.
Single Wet Station
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Single Wet Station

Spin하는 Wafer에 Chemical를 사용하여 불순물 및 Metal 등 공정 진행 / Chemical : BOE, DHF, IPA , SC-1, SPM, ETC
DRYER (200mm FRD / 300RD)
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DRYER (200mm FRD / 300RD)

LRD Dryer는 Marangoni 원리와 Spray 방식을 활용하여 건조 /효과적이고 안정적인 IPA 공급 /W/F C/T Point의 최소화 /고온 IPA 건조 공정 가능/ 광범위한 공정 적용 (AR>10, DR<20nm)
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TEL.
T. 82 031-297-9938
P. 82 010-4099-0365

E-Mail.
lrd@lrd.co.kr

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경기도 수원시 권선구 산업로 156번길 88-29

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